氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤平整面度是該產(chǎn)品在生產(chǎn)加工和出貨檢驗(yàn)中,非常重要的一項(xiàng)指標(biāo)。因?yàn)檫@項(xiàng)參數(shù)是好壞,直接影響晶圓在蝕刻過程中產(chǎn)品不良率。在半導(dǎo)體加工中,對硅片的散熱工作相當(dāng)重要,如果無法保證硅片表面的均溫,則在硅片的加工過程中將無法確保加工的均勻性,加工精度也會(huì)受到影響。獲得大范圍的溫度域和充分的吸附力,靜電吸盤可通過自由度高的加熱器設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)良好穩(wěn)定性;氮化鋁通過一體共燒成型,不會(huì)出現(xiàn)因電極的劣化造成歷時(shí)變化,最大限度的保障產(chǎn)品質(zhì)量;
方案選擇:激光影像測量儀(通過激光測量,可以得到平面內(nèi)高點(diǎn)和低點(diǎn)的高度差)
規(guī)格型號 | TOCK-432C |
量測范圍(XYZ) | 400X300X200 |
外觀尺寸 | 700X900X1650 |
平臺(tái)、底座材質(zhì) | 高精度花崗巖00級(山東濟(jì)南青) |
XY 精度 | (3+L/200)μm |
光柵尺分辨率 | XYZ:1μm |
鏡頭 | 4K高清鏡頭 |
鏡頭倍率 | 光學(xué)放大倍率:0.7X-4.5X |
CCD影像 | 1/1.8靶面尺寸 200萬像素彩色CCD |
氧化鋁氮化鋁陶瓷吸盤平整面度測量操作步驟:
選擇點(diǎn)集功能,選擇激光采點(diǎn);找到要求平面度的面,對焦清晰,在激光采點(diǎn)界面選擇圖像,之后根據(jù)需要在平面上采兩個(gè)點(diǎn),在激光采點(diǎn)界面會(huì)同步顯示采取的兩點(diǎn),選中兩點(diǎn)鼠標(biāo)右鍵選擇組合路徑;
.選擇組合路徑之后,兩點(diǎn)會(huì)連成直線,將測量方式設(shè)定為掃描,點(diǎn)數(shù)設(shè)置為-1;
設(shè)置好之后選中直線,鼠標(biāo)右鍵選擇平移,根據(jù)產(chǎn)品大小選擇平移的距離、數(shù)量、方向。點(diǎn)擊完成
等待采點(diǎn)完成之后,元素列表區(qū)會(huì)出現(xiàn)一個(gè)點(diǎn)集,左鍵雙擊點(diǎn)集,圖像區(qū)會(huì)顯示剛才采取到的點(diǎn),通過框選選取這些點(diǎn),然后構(gòu)造平面;
構(gòu)造平面完成之后,元素列表即會(huì)得到一個(gè)平面,選擇平面,數(shù)據(jù)列表區(qū)即可得到平面度,測量值即為實(shí)際值
以上操作需要注意:在氧化鋁氮化鋁靜電陶瓷吸盤的平面上選擇起點(diǎn)與終點(diǎn),在兩點(diǎn)連成的線段內(nèi)通過激光掃描取點(diǎn),可以通過平移復(fù)制的方法將這個(gè)路徑覆蓋平面大部分位置,這樣能夠在平面內(nèi)取到足夠多的點(diǎn)形成點(diǎn)集,減小平面度計(jì)算誤差。
武漢易測儀器激光影像測量儀:設(shè)備優(yōu)勢
三軸搖桿控制,自動(dòng)對焦,編輯程序后一鍵測量,完成后自動(dòng)輸出測量報(bào)告。NG位置用紅色顯示。支持?jǐn)?shù)據(jù)上傳MES,自動(dòng)化檢測站??梢赃x配探針完成簡易三維測量,選配激光完成高度,透明物體厚度,以及曲面輪廓測量。